Herstellung elektrisch leitender Schichten auf (Rastermikroskop)-Proben durch Aufsputtern einer geeigneten Metallschicht.
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INBM
Bal-Tec SCD-050
- Vakuum: 5 x 10-2 hPa
- Targets: Al, Au, Au-Pd, Cu, Pt, Ti
- Max. Probendurchmesser: 10 cm
- Standort: CWB 2.306
Kontakt
Jörg Adam
INBM, Gustav-Zeuner-Str. 3, R. 102
09599 Freiberg
joerg.adam [at] nbm.tu-freiberg.de
+49 3731 39-4378