Reinraumlabor - Willkommen am saubersten Ort der Universität

Für Arbeiten und Versuche, die eine partikelfreie Umgebung benötigen, betreibt die Hochschule ein Reinraumlabor, das für Lehre und Forschung genutzt wird. Das Zentrale Reinraumlabor (ZRL) der TU Bergakademie Freiberg befindet sich in einem Seitenflügel des Gellertbaus, in dem die Physikalischen Institute untergebracht sind.

Ausstattung

Zur Fertigung mikroelektronischer Bauteile stehen zahlreiche Technologien zur Verfügung. 

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Wafer wird in Belichtungsanlage eingelegt

Strukturierung

Lithografie und nano-Plotter
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Sputteranlage im Reinraumlabor

Abscheideverfahren

chemische und physikalische Abscheidung, Atomlagenabscheidung
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Nasschemiebank im Reinraumlabor

Nasschemie

Chemielabor für Halbleiter-Bauelemente
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RTP-Ofen mit geöffneter Klappe und glühendem Innenraum

Thermische Behandlung

Annealing unter verschiedener Atmosphäre
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Plasma-Ätzanlage im Reinraumlabor

Plasmaätzen

Ätzen ohne Säureflasche
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Vierspitzen-Messplatz mit PC im Reinraumlabor

Messgeräte + Glove-Box

Charakterisierung von Schichten und Strukturen
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Abgas-Nachverbrennungsanlage mit Verbrennungszelle und Rohrleitungen

Betriebstechnik

Haustechnik zur Versorgung und Abgasreinigung
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Drohnenaufnahme des Reinraumgebäudes

Rundgang

Unsere Geräte nacheinander vorgestellt