Entwicklung, Herstellung und Charakterisierung eines polymerbasierten Ultraschallwandlers für die Anwendung in der chemischen Sensorik

Ziel dieses Projektes ist die Entwicklung von chemischen Sensoren, die durch die Integration empfindlicher Materialien auf kapazitive Mikromaschinen-Ultraschallwandler (CMUT) ein neues Sensorkonzept etablieren. Dabei wird insbesondere die Detektion von Gasen und Dämpfen als Anwendungsfall adressiert. Für eine hohe Empfindlichkeit dieses neuen Sensortyps wird die bewegliche Membran zudem durch eine hochflexible Polymermembran realisiert. Dieses neue Sensorprinzip verspricht eine hohe Miniaturisierung, Kompatibilität mit etablierten Waferlevel-Technologien sowie die Möglichkeit zur Realisierung von Sensorarrays und Mustererkennung.

Laufzeit: 09/2019 – 08/2022

Förderung: durch den Europäischen Sozialfonds (ESF) bzw. den Freistaat Sachsen sowie das Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS finanzierte Industriepromotion

Partner: Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS