Die Plasmaätzanlagen von Diener und TePla  werden eingesetzt, um eine gezielte oberflächliche Behandlung von Proben durchzuführen. Durch die Verwendung eines ionisierten Gases (Plasma) ermöglichen sie das Ätzen und Strukturieren von dünnen Schichten, ohne das darunterliegende Material zu beschädigen. Beide Kammern können sowohl mit Argon- als auch mit Sauerstoffplasma betrieben werden. Während das Sauerstoffplasma selektiv gegenüber organischen Schichten und Verunreinigungen reagiert, trägt das Argonplasma die oberste Schicht gleichmäßig ab. Die Verfügbarkeit beider Kammern und Gase erlaubt eine flexible Oberflächenbehandlung verschiedenster Proben. 

Die Plasmakammer Zepto der Firma Diener ist eine kompakte Anlage mit einem Kammer­volumen von etwa 2,6 Litern und eignet sich ideal für die Behandlung kleiner Proben. Die Kammer ist mit einem runden Deckel aus Borosilikatglas verschlossen, was eine gute Sicht auf den Innenraum ermöglicht. Die Gaszufuhr erfolgt über zwei fein einstellbare Nadelventile. Die Steuerung der Anlage erfolgt halbautomatisch, unterstützt durch ein Pirani-Vakuummeter zur Drucküberwachung. Eine angeschlossene Vakuumpumpe mit einer Saugleistung von mindestens 3 m³/h sorgt letztlich für die notwendige Prozessatmosphäre. 

Das Microwave Plasma System 400 von TePla ist ein leistungsfähiges Niederdruck-Plasmasystem mit einem Kammer­volumen von 64 Litern, das speziell für die schonende und effektive Reinigung entwickelt wurde. Die Plasmagenerierung erfolgt elektrodenfrei durch Mikrowellen mit 2,45 GHz, die über ein Fenster in die Vakuumkammer eingekoppelt werden. Diese Technik ermöglicht eine großflächige Plasmabildung ohne physikalischen Kontakt zur Probe – ideal für die Bearbeitung empfindlicher Bauteile. Die Plasmareinigung basiert auf chemischen Reaktionen mit reaktiven Radikalen, was eine schnelle, materialschonende Behandlung ermöglicht. Das System verfügt über zwei Standard-Gaskanäle mit Massendurchflussreglern, ein kapazitives Vakuummeter (Bereich: 10⁻³ bis 10 mbar) und eine menügesteuerte Software mit manuellen und automatischen Betriebsmodi, Rezeptverwaltung sowie umfassenden Sicherheits- und Diagnosesystemen. 

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