Das Diamant-Ritzgerät RV-129 von ATV ist speziell für präzise Scribe-and-Break-Prozesse konzipiert und ermöglicht das kontrollierte Anritzen von Materialien wie Halbleiterwafern, Glas oder Keramik. Das System bietet höchste Präzision und Flexibilität für unterschiedliche Substratgrößen und -stärken und schafft durch eine exakte Ritzkontrolle eine saubere Bruchkante.  

Der rotierende Vakuumspannfutter ist für Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm ausgelegt und verfügt über vier Einrastkerben für exakte 90-Grad-Positionierungen. Montiert auf einer X/Y-Stufe mit Linearführungen, kann der Winkel über eine Mikrometerschraube mit einer minimalen Auflösung von 0,006 Grad und einem Verstellbereich von ca. 4° feinjustiert werden. 

Das diamantbeschichtete Ritzwerkzeug besitzt vier Schneidkanten und kann individuell in seinem Winkel justiert werden. Der Ritzdruck ist im Bereich von 5 bis 581 Gramm anpassbar, indem Gewichte auf einer Waage positioniert werden. Die X- und die Y-Achse bieten jeweils einen Verfahrbereich von 240 mm mit einer Auflösung von 10 µm, wobei das Gerät Substrate mit einer Dicke von bis zu 10 mm bearbeiten kann. Die Touchdown- und Lift-up-Positionen des Ritzwerkzeugs sind einstellbar, so dass die erforderliche Ritzlänge exakt bestimmt werden kann.  

Zur optimalen Sichtkontrolle ist das System mit einem Monokularmikroskop (ca. 100-fache Vergrößerung) ausgestattet, das 100 Inkremente bietet. Eine halbe Einheit entspricht dabei einer Auflösung von < 8 µm. Die integrierte Beleuchtung sorgt für klare Sichtverhältnisse während des gesamten Bearbeitungsprozesses. Eine Mikrometerschraube erlaubt außerdem die präzise Höhen- und X-Positionsanpassung, um es exakt mit der Y-Linie im Fadenkreuz des Mikroskops auszurichten. 

Sollte Nutzungsbedarf am Diamant-Ritzgerät bestehen, melden Sie sich bitte bei der Geräteverantwortlichen.