Strategien für Ultra-Hoch-Vakuum-Verkapselungen von Mikroelektromechanischen Komponenten

In diesem Projekt werden Strategien für die Ultrahochvakuumverkapselung von MEMS entwickelt, einschließlich der Verwendung neuartiger Gettermaterialien und 3D-Oberflächenstrukturen zur Erhöhung des Gettervolumens. Darüber hinaus werden selektive Getteraktivierungstechnologien auf Basis induktiver Erwärmung untersucht, um den Innendruck nach dem Verbinden weiter zu senken. Ziel dieser Forschung ist es, stabile Innendrücke unter 1·10-3 mbar zu erreichen, die für leistungsstarke MEMS und zukünftige Quantensysteme unerlässlich sind.

Laufzeit: 09/2024 – 08/2028

Partner: Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS