Halbleiter-Messplatz Agilent B1500A, Süss PA200, Süss PM5
- Standort: CWB 2.305
Agilent B1500A Semiconductor Device Analyzer
- vordefinierte Anwendungen für gängige Parametrisierungen
- modularer Aufbau
- Ansteuermöglichkeiten für
Prober
Externe Module (z.B. Pulsgenerator) - Messung von
I-V-Kennlinien (bis zu 0,1 fA / 0,5 µV)
C-V-Kennlinien (bis zu 5 MHz)
an (diskreten und integrierten) Standardbauelementen, offenen Halbleiterstrukturen
Image
Waferprober Süss PA200
Waferprober Süss PA-200 (halbautomatisch)
- für Wafer bis zu 200 mm (8"), Auflösung 0,5 µm
- Probentemperierung 22-160 °C
- Abschirmung von Licht und elektromagnetischer Störstrahlung durch Darkbox
- schwingungsgedämpfter Tisch gegen niederfrequente Störungen (Vibrationen)
- Gesamtmasse ca. 500 kg
Image
Waferprober Süss PM5
Waferprober Süss PM-5 (manuell)
- Wafergröße: bis 150 mm
- Abschirmung von Licht und elektromagnetischer Störstrahlung durch Darkbox
Kontakt
Jörg Adam
INBM, Gustav-Zeuner-Str. 3, R. 102
09599 Freiberg
joerg.adam [at] nbm.tu-freiberg.de
+49 3731 39-4378