Karl Suss PA-200 (halbautomatisch)
Wafergröße: bis 200 mm
Herstellerinformationen: https://ssd-rd.web.cern.ch/bondlab/equipment/pa200/051208-PA200.pdf
Karl Suss PM-5
Wafergröße: bis 150 mm
Vakuum: -0,8 bar
Herstellerinformationen: https://www.pi.infn.it/wp-content/uploads/2021/07/KarlSuss-PM5.pdf