Spin Coater sind zentrale Geräte in der Dünnschichttechnologie und werden eingesetzt, um flüssige Materialien wie Photoresists, Polymere oder Sol-Gel-Lösungen gleichmäßig auf Substrate aufzubringen. Durch die Rotation des Substrats und die gezielte Einstellung von Drehzahl und Beschleunigung lassen sich reproduzierbare Schichtdicken aufbringen, was Spin Coater insbesondere in der Mikro- und Nanofabrikation und der Halbleitertechnik unverzichtbar macht.
Das neuere der am Institut verfügbaren Geräte ist der POLOS Spin150i von SPS, der speziell für Forschung und Entwicklung konzipiert wurde. Er findet Anwendung in Bereichen wie MEMS, Halbleitertechnologie und Mikrofluidik und ist für alle gängigen Spin-Prozesse geeignet. Ein wesentliches Merkmal dieses Systems ist die nahezu unbegrenzte Flexibilität bei der Prozessgestaltung. Die Rezepte können schrittweise und intuitiv über einen großen Touchscreen programmiert oder alternativ per USB eingespielt werden. Der Spin150i deckt ein breites Substratspektrum ab, von Fragmenten mit einer Größe von lediglich 5 mm bis hin zu Substraten mit 150 mm Durchmesser beziehungsweise einer Kantenlänge von 10 cm. Hierfür kommen ein Vakuumchuck vom Typ A-V36 sowie der Fragmentadapter D-V10 zum Einsatz. Der abnehmbare Touchscreen ist handschuhtauglich, spritzwassergeschützt und chemikalienbeständig. Technisch erlaubt das Gerät sehr hohe Prozessdynamiken mit Drehzahlen von bis zu 12.000 rpm und sehr schnellen Beschleunigungen von bis zu 51.270 rpm/s.
Außerdem steht am Institut das ältere Gerät Delta10TT von SÜSS MicroTec zur Verfügung, der mit denselben Substratabmessungen beladen werden kann, jedoch funktional weniger flexibel ausgelegt ist. Die Prozessprogramme können hier aus maximal zehn einzelnen Schritten bestehen. Der einstellbare Drehzahlbereich liegt lediglich zwischen 100 und 6.000 rpm und die Beschleunigung kann nicht frei definiert werden, sondern wird nur in zehn vordefinierten Stufen gewählt. Dabei kann eine maximale Beschleunigung von 12.000 rpm/s erreicht werden.
Insgesamt sind Spin Coater unverzichtbare Werkzeuge in der Forschung, da sie eine präzise und reproduzierbare Beschichtung von Substraten ermöglichen und so die Entwicklung neuer Materialien und Prozesse erheblich erleichtern.
