Die Ultraschallmikroskopie (engl.: Scanning Acoustic Microscopy, kurz SAM) erlaubt die volumetrische Untersuchung von Proben unabhängig von der Opazität oder der elektrischen Leitfähigkeit. Dabei werden hochfrequente Schallwellen erzeugt und die reflektierten Echos detektiert. Ausschlaggebend für die Echostärke ist die Änderung der mechanischen Eigenschaften an Grenzflächen. Für die Bildgebung wird ein Schallkopf rasterförming über die Probe bewegt und für jede Messposition das Echosignal ausgewertet. 

Die Ultraschallmikroskopie eignet sich daher insbesondere für die Inspektion von Grenzflächen, um z.B. Delaminationen zu erkennen. Weiterhin erlaubt sie eine dreidimensionale Bildgebung von verdeckten Strukturen und die Bestimmung mechanischer Eigenschaften.

Gerätename: PVA Tepla SAM 301 

Schallköpfe: 1,4 mm – 12,7 mm Fokusabstand bei Frequenzen von 20 MHz – 200 MHz

(erweiterbar auf Schallköpfe bis 1 GHz mit 80 μm Fokusabstand.  
Scanbereich: 200 mm x 200 mm mit Schrittweiten ≥ 1 μm

maximale Probengröße: 320 mm x 320 mm x 70 mm

Hinweis: Für die Messung befindet sich die Probe in einem Wasserbad.