Das Rasterelektronenmikroskop dient der chemischen und strukturellen Analyse von Werkstoffen. Der Fokus liegt vor allem auf Keramiken, metallokeramischen Verbundwerkstoffen und Metallen mit anorganisch-nichtmetallischen Einschlüssen. Das Gerät erlaubt mit Hilfe des Ionenstrahlschneidens (focused ion beam, FIB) die Zielpräparation an unebenen Proben und die Herstellung von dünnen Proben (Lamellen) für Untersuchungen im Transmissionsmodus (z.B. Transmissionselektronenmikroskopie – TEM und Scanning Transmission Electron Microscopy - STEM).

Die Kombination von Analysen der Kristallstruktur und -Orientierung mittels Rückstreuelektronenbeugung (electron back scattering diffraction, EBSD) und Bestimmung der lokalen chemischen Zusammensetzung über energiedispersive Röntgen-Spektroskopie (EDS) ermöglicht eine komplette Phasenanalyse im Untersuchungsbereich. An mittels FIB herauspräparierten dünnen Lamellen ist in STEM-Analysen eine räumliche Auflösung in der Größenordnung von 10 nm möglich.

Zusätzlich eignet sich das FIB/REM aufgrund seines niedrig-Vakuum Modus für die Analyse und Präparation von elektrisch nicht leitfähigen Proben, wie z.B. Keramiken, Gläsern oder nicht dotierten Halbleitern.