Hersteller: Bruker AXS GmbH

technische Spezifikationen:

• Röntgendiffraktometer mit Parallelstrahloptik (θ–2θ)
• Anodenmaterial: Cu
• Winkelmessbereich: 2θ = 0° ... 155°
• primärseitig parabolischer Ni/C-Multilagenspiegel (AXO Dresden GmbH)
• Probenaufnahmen:
  • Standardprobenhalter für Pulver oder Kompaktproben
  • Reflektometrieprobenhalter, z.B. für Wafer
• sekundärseitiger Parallelplattenkollimator (Akzeptanz: 0.12° oder 0.23°)
• LiF-Monochromator (reduziert Kα₂/Kα₁-Verhältnis)
• Li-gedrifteter Si-Halbleiter-Szintillationszähler (Punktdetektor)

typische Anwendungen:

• Beugung unter streifendem Einfall (GAXRD) an dünnen Schichten:
  • qualitative/quantitative Phasenanalyse
  • Gitterparameterbestimmung
  • Bestimmung der Eigenspannungen I. Art (sin²ψ-Methode)
• Röntgenreflektometrie:
  • Messungen der Oberflächenrauhigkeit
  • Untersuchung von Multilagenstrukturen
  • Bestimmung der Dicke von Schichten (z.B. Oxidationsschichten)