Zweistrahlsystem (Dual Beam System) FEI Helios NanoLab 600i
- Rasterelektronenmikroskop (REM)
- hochauflösende Bildgebung
- thermische Schottky-Feldemissionsquelle
- zusätzlich fokussierter Ionenstrahl (Focused Ion Beam - FIB)
- Oberflächenmodifikation
- Gallium-Quelle
Blick ins Labor
FIB: FEI Helios NanoLab 600i im Überblick
FIB: Geöffnete Probenkammer
FIB: Elektronen- und Ionenoptik sowie Detektoren in der Messkammer
FIB-Arbeitsplatz für Bedienung und Auswertung
FIB: Ankippen der Probenbühne
Ausstattung:
- Detektoren:
- Everhart-Thornley-Detektor
- In-Lens-Detektor (Sekundärelektronen und Rückstreuelektronen)
- ICE-Detektor (Ion Conversion and Electron)
- Rückziehbarer DBS-Rückstreudetektor
- EDX-Detektor für energiedispersive Röntgenanalyse (Firma EDAX)
- EBIC-Verstärker (Electron Beam Induced Current)
IR-CCD-Kamera für Probenkammereinblick
- Gasinjektionssystem (GIS) zur ortsaufgelösten Abscheidung von:
- Platin
- Kohlenstoff
- Isolator (TEOS) mittels eines Gaseinlasssystems möglich
2 weitere Ports zum Nachrüsten
- Mikromanipulatoren:
- gleichzeitige Benutzung von einem bis vier Mikromanipulatoren der Firma Kleindiek
- gezieltes Abgreifen und Einspeisen von Strömen auf den Proben mit den 4 Mikromanipulatoren
mit Einsatz eines Mikromanipulators ist die Darstellung eines Strombildes möglich (Electron Beam Induced Current - EBIC)
- integrierter Plasmacleaner zur Oberflächenreinigung der Proben
Anwendungsbeispiele
FIB: SiC-Nanowire mit angelagerten Kristalliten
FIB Vierspitzenmessung an einem einzelnen SiC-Nanowire
FIB: Electron Beam induced current in Teststruktur
FIB: Löcher in einer Lithiumniobat-Sol-Gel-Schicht
FIB: Überwachsener SiC-Nanowire
FIB: Zinkoxid-Nanokristalle
FIB zukünftige TEM-Lamelle am Prober
Weitere Informationen
- Nutzerordnung zum Download
- Ansprechpartner: Dr. Claudia Funke (Tel. 2084, claudia [dot] funke [at] physik [dot] tu-freiberg [dot] de)