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technische Spezifikationen:

• Elektronenstrahlmikrosonde für die wellenlängen- und energiedispersive Analyse
• LaB₆- oder W-Kathode als Elektronenquelle
• Optisches Mikroskop mit Farb-TV-Kamera für die Auswahl des gewünschten Probenbereiches
• Sekundärelektronen- und Rückstreuelektronendetektor für die Abbildung und Festlegung des Messbereiched
• 5 Kristallspektrometer mit verschiedenen Kristallen 
• EDX-System
• Beschleunigungsspannung von 5 keV bis 30 keV
• kontinuierliche Strahlstromeinstellung zwischen 1 pA und 10 µA
• LN₂-Kühlfalle für ein verbessertes Vakuum und eine reduzierte Kontaminationsrate
• Umfangreicher Satz an metallischen und mineralischen Standards

typische Anwendungen:

• lokale, quantitative Elementanalyse für Elemente ab Ordnungszahl 5
• Bestimmung der Elementverteilung entlang von Linien oder Flächen