Zu den ältesten Beständen des Universitätsarchivs der Bergakademie Freiberg zählen die nach der Gründung der Bergakademie (1765) vom Bergakademieinspektor geführten Akten und die der Bergakademischen Disziplinarbehörde ebenso wie die nach Auflösung des Königlichen Sächsischen Oberbergamtes (1869) – dem bis dahin die Leitung und Aufsicht über die Bergakademie unterstand – von diesem an die Bergakademie abgegeben Unterlagen. Zu Letzteren gehören auch die Aufsichtsakten über die Verwendung der Stipendiengelder der sogenannten Stipendiatenkasse (seit 1702).

1950 sind die Archivbestände der Verwaltung der Bergakademie, die im wesentlichen Unterlagen aus der Zeit vor 1900 umfassten (archivwürdige Unterlagen aus der Zeit von 1900 bis 1929 dagegen wurden aus Unkenntnis ihres Wertes 1945 überwiegend vernichtet), mit denen des ehemaligen Oberbergamtsarchivs (Bergarchiv) innerhalb der Hochschulbücherei der Bergakademie vereinigt worden, ohne dass es zur Bildung eines Hochschularchivs im Sinne der damals gültigen Archivverordnung gekommen wäre. Erst mit der im Februar 1961 erfolgten Besetzung der Stelle eines Leiters des Hochschularchivs begann die eigentliche Archivgeschichte. 1962 übergab das Rektorat die bis dahin noch von diesem verwalteten archivwürdigen Unterlagen aus der Zeit von 1929 bis 1950 an das Hochschularchiv.

Während schließlich 1967 das Bergarchiv aus der Bergakademie aus- und als Historisches Staatsarchiv dem Staatsarchiv Dresden als Außenstelle angegliedert wurde, erfolgte im Rahmen der Hochschulreform 1968 die Unterstellung des Hochschularchivs unter den Verwaltungsdirektor / Direktor für Ökonomie der Bergakademie. Nach unterschiedlicher Zuordnung ist das Universitätsarchiv, das diesen Namen seit 1993 führt, im Juli 2001 dem Kanzler der Universität direkt unterstellt worden.

Seit Beginn der Übergabe von Verwaltungsakten der verschiedensten Hochschuleinrichtungen an das Hochschularchiv 1963 nimmt dieses sowohl die Funktion eines Zugangsarchivs (Verwaltungsarchiv) für die (heute) etwa 75 aktenführenden Stellen der TU Bergakademie als auch die eines Endarchivs für z. Zt. etwa 150 Bestände wahr.

Ende des Jahres 2001 erfolgte der Umzug des Universitätsarchivs in die neu sanierten Räumlichkeiten an zentraler Stelle der TU Bergakademie Freiberg, Prüferstraße 9. In diesem Gebäude, in dem von 1893 bis 1919 die Freiberger Bergschule ihren Sitz hatte, wurden nahezu ideale Lagerungsbedingungen für die Archivbestände und hervorragende Arbeitsbedingungen für die beiden Archivmitarbeiter sowie Benutzer geschaffen.