Neues ZIM-Projekt startet im Februar 2025 am MSE Lab: HECTAS (Hochenergie Chirp und Transducer für die Analyse im SEMI-Bereich)
Das MSE Lab freut sich, gemeinsam mit Partnern aus Industrie und Forschung neue Messverfahren für die Ultraschallmikroskopie entwickeln zu können.
Scannende Ultraschallmikroskope werden in der Halbleiterindustrie für die zerstörungsfreie Untersuchung von Proben eingesetzt. Durch reflektierte Ultraschallwellen werden Rückschlüsse auf innere Strukturen und Defekte ermöglicht. Die Zuverlässigkeit wird erhöht.
Mit zunehmend komplexeren Schichtaufbauten und neuartigen Materialien sinkt die in die Tiefe der Probe eintragbare Energie und die relative axiale Auflösung einer Messung. Um für aktuelle und auch zukünftige Proben die Analysefähigkeit signifikant zu verbessern, soll eine neuartige analoge Hochfrequenzkette entwickelt werden. Zur Verbesserung der Schichttrennung und der Eindringtiefe, werden die Transducer mit einem breitbandigen Korrelationsmuster angeregt und das empfangene Echo einer Pulskompression unterzogen. Zur spektral breitbandigen Emission der Schallwellen werden neuartige Transducer und frequenzselektive Anpassnetzwerke entwickelt. Die Eindringtiefe ins Material wird durch eine neuartige und kompakte Hochfrequenz-Leistungsverstärkerkaskade weiter erhöht. Durch den zu entwickelnde Signalgenerator wird ein sehr hoher Freiheitsgrad mit Potential für weitere Anwendungsfälle und Forschung ermöglicht.
Projektpartner:
PVA TePla Analytical Systems GmbH & Co.KG
Industrial Electronic Components GmbH
Hochschule Aalen – Technik und Wirtschaft - Fakultät Elektronik und Informatik
https://www.hs-aalen.de/de/faculties/2
TU Bergakademie Freiberg - Juniorprofessur für Mess-, Sensor- und Eingebettete Systeme (MSE Lab)
https://tu-freiberg.de/mse-lab
Das Zentrale Innovationsprogramm Mittelstand (ZIM) unterstützt kreative Unternehmen bei der Realisierung guter Ideen mit passgenauen Fördermöglichkeiten. Gefördert werden FuE-Kooperationsprojekte von Unternehmen oder von Unternehmen und Forschungseinrichtungen zur Entwicklung innovativer Produkte, Verfahren oder technischer Dienstleistungen ohne Einschränkung auf bestimmte Technologien und Branchen. Sie sollen in einer ausgewogenen Partnerschaft durchgeführt werden, bei der alle Partner innovative Leistungen erbringen.
