TU Bergakademie Freiberg baut Halbleiterforschung aus

Die TU Bergakademie Freiberg hat in den letzten Jahren ihre Halbleiterforschung kontinuierlich ausgebaut. Mittlerweile forscht jeder zehnte Professor in diesem Bereich. Diese Zahlen präsentiert Prof. Georg Unland, Rektor der TU Bergakademie Freiberg, auf dem Festakt „50 Jahre Elektronikwerkstoffe aus Freiberg“ anlässlich des Jubiläums der Gründung des VEB Spurenmetalle.
Auf dem Freiberger Campus wurden in den letzten fünf Jahren zwanzig Millionen Euro investiert, um die räumlichen Bedingungen für die Halbleiterforschungen zu verbessern. Dies sind mehr als 40 Prozent der in diesem Zeitraum ausgegebenen Mittel. Begleitend erwarben die Freiberger Institute Forschungsgroßgeräte im Werte von 15 Millionen Euro. Dieses Jahr plant die TU Bergakademie Freiberg nochmals Investitionen in die technologische Infrastruktur von weiteren fünf Millionen Euro.

„Wir beabsichtigten mit den Investitionen, die Ausbildung von Fachleuten für die Halbleiterindustrie weiter zu stärken“, erklärte Prof. Georg Unland, Rektor der TU Bergakademie Freiberg. „Unser Ziel ist es, dass auf diesem Gebiet jährlich 100 Absolventen die Freiberger Universität verlassen. Zusätzlich wollen wir pro Jahr bis zu 15 junge Wissenschaftler zur Promotion führen.“ Schon jetzt erwerben pro Jahr rund 30 Studierende einen Abschluss in halbleiterbezogenen Studiengängen und rund 10 Wissenschaftler promovieren.

Wichtiger Impuls für die Halbleiterforschung an der TU Bergakademie Freiberg war 1957 die Gründung VEB Spurenmetalle Freiberg. Mit Beginn der Silizium-Entwicklungsarbeit 1960/61 entstand die erste Forschungszusammenarbeit des volkseigenen Betriebs mit der Bergakademie Freiberg. Um die benötigten Materialien für die Halbleiterproduktion zu erforschen und zu verbessern, gründete sich zu Beginn der 70er Jahre an der Universität eine „intersektionelle Forschungsgruppe“. An ihr arbeiteten werkstoffwissenschaftliche und naturwissenschaftliche Institute der Bergakademie zusammen, unter anderem die Institute für Nichteisenmetallurgie, Metallkunde, Technische Chemie und Experimentelle Physik.

Bis heute bilden die Halbleitermaterialien den Schwerpunkt in der Halbleiterforschung. Dies hängt neben dem Profil der TU Bergakademie Freiberg auch mit der Ausrichtung der in Freiberg tätigen Halbleiterindustrie zusammen. Im Umfeld haben sich in den vergangenen Jahren weltweit führende Hersteller von Halbleiter¬materialien für die Mikroelektronik und Photovoltaik angesiedelt. In Zusammenarbeit mit diesen Unternehmen entwickelt die TU Bergakademie Freiberg zurzeit neue Technologien zur Herstellung von Rohsilizium. Daneben erforschen die Freiberger Wissenschaftler neue Verfahren zur elektronischen Charakterisierung zur Defektanalyse bei Silizium-Wafern sowie zur Optimierung ihrer mechanischen Bearbeitung.

Fragen beantwortet / Contact: 
Prof. Jürgen Rüdiger Niklas