Zentrales Reinraumlabor der Universität nach Umbau wieder geöffnet

Sie stecken in Smartphones, Tablets, Fernsehern und Computern – Halbleiter bilden die Grundlage vieler elektronischer Geräte. Sie ermöglichen eine exakte Steuerung des Stromflusses durch ein System. In einem speziellen Reinraumlabor der TU Bergakademie Freiberg forschen Wissenschaftler an der Herstellung und Bearbeitung von Halbleitermaterialien. 

Ein Reinraumlabor ist für spezielle Fertigungsverfahren unerlässlich. Frei von Staub und Schmutz wird so etwa die Herstellung von integrierten mikroelektronischen Schaltkreisen möglich. Das Labor der TU Bergakademie Freiberg verfügt über 330 m² Reinraumfläche in den Klassen ISO 5 bis ISO 7. Das bedeutet: In einem Reinstraum der Klasse ISO 5 dürfen nicht mehr als 3500 Partikel größer/gleich 500 nm in einem Kubikmeter Luft vorhanden sein. Alle relevanten Halbleiterfertigungsprozesse zur Herstellung von Teststrukturen zur Materialentwicklung für die Silizium- und Galiumnitrid-Technologie stehen im Freiberger Reinraumlabor zu Verfügung. „Das Besondere ist seine sehr kompakte Infrastruktur. Alle notwendigen Prozesstechnologien sind verfügbar bei gleichzeitiger Flexibilität hinsichtlich der Materialien“, erklärt Prof. Johannes Heitmann, Direktor des Zentralen Reinraumlabors.

Am 5. März wurde das neu ausgestattete Zentrale Reinraumlabor durch den Prorektor für Forschung Prof. Merkel offiziell eröffnet. Im Anschluss an das Grußwort des Prorektors kamen namhafte Vertreter aus Forschung und Industrie zu Wort und würdigten das Engagement der TU Bergakademie Freiberg auf dem Gebiet der Halbleiter-Materialforschung. So betonte Prof. Lothar Frey, Direktor des Fraunhofer-Instituts für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie Erlangen die Wichtigkeit reproduzierbarer Bedingungen und die mit hohen Standards hergestellten Teststrukturen als wesentlicher Bestandteil einer anwendungsnahen Halbleiter-Materialforschung. Dr. Stefan Eichler, CTO von Freiberg Compound Materials zeigte sich über die sehr fundierte und anwendungsnahe Ausbildung der Freiberger Absolventen erfreut, die für Ihn einen klaren Standardvorteil für die regionale Industrie darstellt. Prof. Thomas Mikolajick, Direktor der Namlab gGmbh an der TU Dresden und Sprecher des Cool Silicon Clusters ordnete die Freiberger Anstrengungen in eine sächsischen, deutschen und auch europäischen Kontext ein. Laborleiterin Dr. Barbara Abendroth freute sich über die vielen Gäste aus anderen Forschungseinrichtungen wie etwa das HZDR und der Freiberger Industrie wie Freiberg Instruments. „Dies zeigt unter anderem auch die Wertschätzung unserer Projektpartner“, so Dr. Barbara Abendroth.

Neben den Forschungsarbeiten ist die studentische Ausbildung ein weiterer Schwerpunkt des Zentralen Reinraumlabors. So kam es in den letzten Jahren zur Anfertigung von über 30 Graduierungsarbeiten. Alle Studenten der Vertiefungsrichtung Festkörperphysik der Angewandten Naturwissenschaft, sowie die Studenten der Elektronik und Sensormaterialien, Photovoltaik und Halbleitertechnik und Nanotechnologie absolvieren ein Praktikum in diesem Labor. Die Infrastruktur des seit dem Jahr 2008 bestehenden Zentralen Reinraumlabors wurde im vergangenen Jahr im Hinblick auf die gestiegenen Anforderungen deutlich erweitert.

Das Zentrale Reinraumlabor wird an der TU Bergakademie Freiberg gemeinschaftlich von den Instituten Elektronik- und Sensormaterialien, Experimentelle Physik und Angewandte Physik betrieben. Die Direktoren dieser Institute Frau Prof. Yvonne Joseph, Prof. Dirk C. Meyer, Prof. Johannes Heitmann bilden zusammen mit der Leiterin des Kompetenzzentrums für Elektronikmaterialien Dr. Barbara Abendroth das wissenschaftliche Leitungsgremium.