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Rosemarie Dittrich (ESM)

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ist eine Bildanalyse-Software, mit der in wenigen Schritten hochwertige Bilder einer Probe aufgenommen werden können. Das Bildanalysesystem besteht aus der Software und der Hardware, wie z. B. Mikroskop und Kamera. Zur Bildaufnahme werden die Daten aus der Kamera, die an das Mikroskop angeschlossen ist, ausgelesen und auf dem PC-Monitor dargestellt. Ausgehend von einem Live-Bild, das ständig aktualisiert wird, können digitale Bilder, die gespeichert und mit verschiedenen Funktionen der Software nachbearbeitet und analysiert werden, erzeugt werden.

Für die Aufnahme und die Nachbearbeitung bietet die Software folgende Funktionen:

  • Multidimensionale Bilder aufnehmen und ansehen
    Ein multidimensionales Bild besteht immer aus mehreren Einzelbildern. Diese wurden zum Beispiel zu einem anderen Zeitpunkt oder an einer anderen Fokusposition aufgenommen. Mit dieser Software kann z. B. eine Zeitreihe oder ein Z-Stapel aufgenommen werden
  • EFI-Bild aufnehmen
    Mit der Software können Bilder aufgenommen werden, die eine praktisch unbegrenzte Tiefenschärfe aufweisen. Diese Bilder heißen EFI-Bilder. EFI ist die Abkürzung von "Extended Focal Imaging". Für die Erzeugung eines EFI-Bildes wertet die Software aus den unterschiedlich fokussierten Einzelbildern eines Z-Stapels die schärfsten Pixel aus und berechnet daraus ein Bild, das in allen Bereichen scharf ist.
  • Panorama-Bilder aufnehmen
    Unter Nutzung eines motorisierten XY-Mikroskoptisches kann ein Panorama-Bild einer größeren Probenstelle aufgenommen werden. MIA steht für Multiple Image Alignment. Der Aufnahmeprozess setzt alle aufgenommenen Bilder direkt bei der Aufnahme wie ein Puzzle zu einem Panorama-Bild zusammen.
  • Panorama-Bild nachträglich erzeugen
    Mit dem Befehl MIA Bildausrichtung können einzelne Bilder nachträglich zu einem Panorama-Bild zusammengesetzt werden. Das Panorama-Bild zeigt damit einen großen Probenbereich in einer höheren XY-Auflösung als es mit einer einzigen Aufnahme möglich wäre.
  • Auf Bildern messen
    Die Software bietet die Möglichkeit, auf Bildern verschiedene Messungen vorzunehmen und z. B. die Länge einer Linie, den Umfang einer Ellipse oder den Grad eines Winkels zu messen. Die Messobjekte werden in der Zeichenebene des Bildes dargestellt und können ein- und ausgeblendet werden. Die Messergebnisse werden in einer Tabelle aufgelistet und können per Mausklick unterschiedlich sortiert werden. Messergebnisse können Sie z. B. im Format XLS exportieren (zur Weiterbearbeitung im Programm MS-Excel).
  • Bilder nachbearbeiten
    Die aufgenommenen Bilder können nachbearbeitet werden und nachträglich die Bildqualität korrigiert werden. Dazu stehen zahlreiche Filter und Funktionen zur Verfügung, z. B. verschiedene Glättungs- oder Schärfungsfilter und Funktionen zur Kontrastoptimierung. Darüber hinaus können die Bilder gespiegelt und um einen beliebigen Grad gedreht werden.
  • Bilder automatisch analysieren
    Bei einer automatischen Bildanalyse sucht die Software in einem Bild nach Flächen, die dieselbe Intensität bzw. Farbe haben. Alle Flächen, die dieselbe Intensität bzw. Farbe haben, werden einer Phase zugeordnet und ausgewertet.
  • Das Mikroskop ansteuern
    Die motorisierten Teile des Mikroskops können von der Software aus angesteuert werden. Damit diese Kommunikation funktioniert, müssen diese Komponenten nicht nur motorisiert sein, sondern auch in der Software konfiguriert worden sein.

Anwendung im Exzellenzcluster ADDE

  • TP 8, 9 und 10: Abbildung und Analyse der strukturierten Wafer. Es werden Strukturbreiten auf dem Wafer vermessen, die Kantenausbildung nach dem Strukturierungsprozess (Lift-off, Ätzprozess) untersucht und Strukturfehler dokumentiert.

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