Rasterelektronenmikroskop Versa 3D

  • Feldemissionsabtastung Elektronenmikroskop/Fokus-Ionenstrahl
  • Verfügbare Hochvakuum-, Niedervakuum- und Umgebungsmodi
  • Platin- und Kohlenstoffabscheidung
  • Verbesserte Ätzung und selektive Kohlenstoffmühle
  • Interner Plasmareiniger für Proben

Steckbrief

GerätenameRasterelektronenmikroskop Versa 3D
LeistungsartMikroskopie
InstitutEnergieverfahrenstechnik und Chemieingenieurwesen
FachbereichOptik, Elektronenoptik
HerstellerFEI
Experte Prof. Dr. Bernd Meyer