Rasterelektronenmikroskop Helios NanoLab 600i

Das FIB (Focused Ion Beam) ist ein Zweistrahlsystem (DualBeam System) der Firma FEI,speziell ein Helios NanoLab 600i. Es besteht aus einem hochauflösenden Rasterelektronenmikroskop (REM) welches zusätzlich mit einem fokussierten lonenstrahl (Focused Ion Beam - FIB) kombiniert ist. Der Elektronenstrahl wird hauptsachlich zur hochauflösenden Bildgebung genutzt, der lonenstrahl zur Oberflächenmodifikation. Ausgestattet ist das Gerät mit einer thermischen Schottky Feldemissionsquelle für den Elektronenstrahl und einer Gallium-Quelle für den lonenstrahl. Als Detektoren sind folgende bildgebende Detektoren vorhanden:

  • Everhart Thornley Detektor,
  • "In Lens" Detektor (Sekundärelektronen und Rückstreuelektronen),
  • ICE Detektor (Ion Conversion and Electron)
  • Rückziehbarer DBS-Rückstreudetektor
  • EDX- Detektor (EDAX) für energiedispersive Röntgenanalyse
  • EBIC Verstärker (Electron Beam Induced Current)
  • IR-CCD Camera für Probenkammereinblick

Steckbrief

GerätenameRasterelektronenmikroskop Helios NanoLab 600i
LeistungsartMikroskopie
InstitutExperimentelle Physik
FachbereichOptik, Elektronenoptik
HerstellerFEI
Experte Dr. Claudia Funke