Hoch-Vakuum-SPM-System Serie 7500, RHK

Das HT-SPM verwendet eine ganze Reihe verschiedener Messmodi zur Untersuchung von Oberflächen (NC-AFM, C-AFM, LFM, MFM, Nanotribologie, STM, STS, Nanolithographie, EFM) und kann auch zur Kraftspektroskopie eingesetzt werden. Das HT-SPM ist in der Lage, Oberflächen bishin zur atomaren Auflösung abzuscannen, wobei die Schwingungsdämpfung über AirLegs gewährleistet wird. Möglich sind Scans von 8 µm x 8 µm in XY-Richtung (Auflösung: 1Å) und 2 µm in Z-Richtung (Auflösung: 0,1 Å) bei einem Drift <1Å/min.  Es kann dabei unter Hochvakuum, Gasatmosphäre, erhöhter Temperatur (circa 750 K), niedriger Temperatur (circa 100 K) gemessen werden, auch Dauerbetrieb ist möglich.

Steckbrief

GerätenameHoch-Vakuum-SPM-System Serie 7500, RHK
LeistungsartRasterkraftmikroskopie
InstitutMechanische Verfahrenstechnik und Aufbereitungstechnik
FachbereichOptik, Elektronenoptik
HerstellerRHK Technology
Experte Prof. Dr. Urs Peuker