Diplom- und Masterarbeiten

Zu vergebene Masterarbeitsthemen

Wir bieten Ihnen aktuellste Forschungsthemen auf dem Gebiet der Herstellung und Charakterisierung von Halbleitermaterialien, insbesondere von nanokristallinen Dünnschichtsystemen, Hoch-ε-Materialien und Nanokristallen in oxidischer Matrix für die Anwendung für modernste Speichertechnologien und den optimalen Energietransfer zu Seltenen Erden in optischen Bauelementen durch Quantenconfinement-Effekte. Dabei haben Sie Zugriff auf unsere Anlagen zur Halbleiterprozessierung im Zentralen Reinraumlabor der TU Bergakademie Freiberg und die elektrische und optische Messtechnik in unserem Institut. Daneben haben Sie über unsere Kooperationspartner auch einen Zugang zu weiterer vielfältiger Prozessierungs- und Analysetechnik.

In Kooperation mit dem Fraunhofer THM bieten wir folgendes Masterarbeits-Thema an:
Entwicklung von Atomlagenätzprozessen (ALE) für Siliziumkarbid (SiC)

Haben Sie Interesse, so melden Sie sich bei uns!


Laufende und abgeschlossene Masterarbeiten

  • "Herstellung, Strukturierung und Charakterisierung dünner Germanium Schichten für optoelektronische Anwendungen"

  • "Polarisierte Photolumineszenz an Halbleitermaterialien und Nanostrukturen"

  • "Atmosphärische Plasmabehandlung an Heterojunction Solarzellen zur Verbesserung der Adhäsion der Metallisierung und Wiederherstellung der Oberflächenpassivierung"

  • "Optoelektronische Eigenschaften von Phosphor hochdotierten und mittels Ionenstrahlsynthese und Blitzlampenausheilung hergestellten Germanium Verbindungen"

  • "Entwicklung eines beschleunigten Tests zur lichtinduzierten Degradation für Bor dotierte Cz-Solarzellen"

  • "Machbarkeitsuntersuchungen und Qualifikation neuartiger Schichtsysteme der Aufbau- und Verbindungstechnik für den Einsatz in LED-Hochleistungsmodulen"

  • "Einfluss von Lumineszenzkopplung und Teiltransparenz auf die elektrische Charakterisierung von III-V Vierfachsolarzellen"

  • "Absoluttemperaturmessungen an µm skaligen Al-Teststrukturen mittels mikroskopischer Thermographie"

  • "Optimierung von Emitterdiffusion und Oberflächenpassivierung von bei Atmosphärendruck trockenstrukturierten c-Si Oberflächen"

  • "Charakterisierung von Sägeslurries mit Hilfe von Benetzungsversuchen"

  • "Dotierung von CZ-Silizium-Wafern mittels PECVD abgeschiedenen Borosilikatgläsern für photovoltaische Anwendungen"

  • "Herstellung und Charakterisierung von PVD- und ALD-Al2O3-Schichten zur Silizium-Passivierung"

  • "Ermittlung der Substrat-Partikeldichte der Silizium-PV-Labortechnologie"

  • "Charakterisierung und Überwachung der mechanischen Eigenschaften von PECVD-Nitridschichten für mikroelektromechanische Anwendungen"

  • "Untersuchung zur Verbesserung der Produktionsausbeute von flexiblen CIGS Dünnschichtsolarzellen und -modulen"

  • "Herstellung und Charakterisierung von Ge/ZrO2-Übergittern"

  • "Herstellung und Charakterisierung von Er-dotierten Silizium-Nanokristall-Spaltwellenleiterstrukturen"

  • "Einfluss des Si-Grundmaterials auf die Bor- und Phosphordiffusion von modernen Superjunction-Bauelementen"

  • "Entwicklung und Evaluierung eines Modells zur Prozeßregelung für die 28 nm Cu-Via-Technologie"

  • "Untersuchung zur Kontaktbildung mittels Extrusionsdruck hergestellter Kontaktfinger für Siliziumsolarzellen"

  • "Herstellung und Charakterisierung von ohmschen Kontakten auf AlGaN/GaN Heterostrukturen formiert bei tiefen Temperaturen"

  • "Charakterisierung von Leckstrommodellen in Al2O3"

  • "Optische und elektrische Defektspektroskopie an Hoch-Epsilon-Material/Halbleiter-Übergängen"

  • "Optische Charakterisierung von Halbleiter-Nanokristallen"

  • "Herstellung und Charakterisierung von Sol-Gel ZrO2 Dünnschichten für optische und elektronische Anwendungen"

  • "Photolumineszenzuntersuchungen an dotiertem GaN"

  • "Herstellung und Charakterisierung von bifacialen n-Typ c-Si Solarzellen mit Rückseitenemitter"

  • "Herstellung und Charakterisierung von ALD Al2O3- und Si dotiertem Al2O3-Schichten zur Passivierung von kristallinen Siliziumsolarzellen"

  • "Einbettung von Nanoclustern in ZrO2 mittels Sol-Gel-Abscheidetechniken"

  • "Kristallisationsphänomene von Ge-Nanokristallen in einer ZrO2-Matrix"

  • "Slot waveguides containing Silicon Nanocyrstals and Erbium"

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Abgeschlossene Diplomarbeiten

  • Thema: "Herstellung und Charakterisierung von Halbleiterbauelementen auf GaN-Basis"
    Betreuer: Prof. Johannes Heitmann, Dr. Ronald Otto
    Bearbeiter: Jens Mossig (TU Bergakademie Freiberg) 01/2015 - 03/2015

  • Thema: "Entwicklung und Charakterisierung von Trockenätzprozessen"
    Betreuer: Prof. Johannes Heitmann, Dr. Ronald Otto
    Bearbeiter: Jan Ramin (TU Bergakademie Freiberg) 01/2013 - 07/2013

  • Thema: "Ferroelektrische Kondensatoren auf Basis dotierter Hafniumoxid-Dünnschichten"
    Betreuer: Prof. Johannes Heitmann, Dr. M. Czernohorsky
    Bearbeiter: Patrick Polakowski (TU Bergakademie Freiberg) 07/2011 - 02/2012

  • Thema: "Untersuchung der Empfindlichkeit der mikrowellendetektierten Photoleitfähigkeit zur quantitativen Messung der Minoritätsladungsträgerdiffusionslänge"
    Betreuer: Prof. Johannes Heitmann, Dr. K. Dornich (Freiberg Instruments)
    Bearbeiterin: Maxi Richter (TU Bergakademie Freiberg) 06/2011 - 12/2011

  • Thema: "Untersuchung des ZrO2:Ge Dünnschichtsystems und dessen Entmischung für optische und elektronische Anwendungen"
    Betreuer: Prof. Johannes Heitmann, Dr. Frank Schneider
    Bearbeiter: Sven Haas (TU Bergakademie Freiberg) 11/2010 - 05/2011

  • Thema: "Aufbau und Test einer Messapparatur zur ortsaufgelösten Lumineszenzmessung an Alumosilikaten zur physikalischen Altersbestimmung"
    Betreuer: Dr. Matthias Krbetschek
    Bearbeiterin: Susanne Pfeifer (TU Bergakademie Freiberg) 01/2009 - 07/2009

  • Thema: "Charakterisierung und Modellierung von Halbleiterdioden"
    Betreuer: Prof. Lothar Frey
    Bearbeiterin: Guntrade Roll (TU Bergakademie Freiberg) 01/2008 - 05/2008

  • Thema: "Untersuchung von Bor-/Phosphor-dotierten Gläsern mittels FTIR"
    Betreuer: Prof. Lothar Frey
    Bearbeiter: Martin Krupinski (TU Bergakademie Freiberg) 11/2007 - 05/2008

  • Thema: "Elektrische Charakterisierung dielektrischer Schichten"
    Betreuer: Dr. Frank Schneider
    Bearbeiter: Marcel Mandel (TU Bergakademie Freiberg) 10/2007 - 03/2008

  • Thema: "Transparente organische Leuchtdioden"
    Betreuer: Prof. Lothar Frey
    Bearbeiterin: Christina Ehlig (TU Bergakademie Freiberg) 11/2006 - 05/2007

  • Thema: "Optisch stimulierte Lumineszenz-Untersuchung an fluviatilen Sedimenten aus dem Lena-Delta (sibirische Arktis)"
    Betreuer: Dr. Matthias Krbetschek
    Bearbeiterin: Margret Fuchs (TU Dresden) 06/2007 - 02/2008

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