Halbleiterwerkstoffe
Leitung
Dr. rer. nat. Olf Pätzold
Stellvertretender Institutsdirektor, Halbleiterwerkstoffe (Arbeitsgruppenleiter)
Ledebur-Bau, Zimmer E 23
Telefon +49 3731 39-2767
olf [dot] paetzold
inemet [dot] tu-freiberg [dot] de
Arbeitsgebiete
- Halbleiterkristallzüchtung aus der Schmelze und Gasphase
- Züchtung von Element- und Verbindungshalbleitern, z. B. (Al)GaN, GaAs, Ge, Si
- Strömungs- und Erstarrungsexperimente mit Modellschmelzen
- Präparation und Charakterisierung von Halbleitermaterialien
Technische Ausrüstung
- Ofenanlagen für die VGF-Kristallzüchtung von Ge- und GaAs-Einkristallen mit Magnetfeldern
- Induktionsschmelzanlage für die Si-Kristallzüchtung
- Ofenanlage für die Gasphasenabscheidung von GaN-Kristallen
- SessileDrop-Anlage für die Bestimmung des Kontaktwinkels und der Oberflächenspannung von Halbleiterschmelzen
- Reinräume mit Einrichtungen und Anlagen für die Reinigung und Präparation von Materialien und Komponenten sowie für die metallografische Charakterisierung von Halbleiterkristallen
- Optische Mikroskope für die Charakterisierung von Halbleiterproben, u.a. mittel korrelativer und konfokaler Mikroskopie
- Plasma-Sekundär-Neutralteilchen-Massenspektrometer für chemische Charakterisierung von Halbleiterproben
- Hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop mit EDX und WDX
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