Laser Scanning Profilometry

Gerätetyp: UBM Microfocus Expert

Das UBM-Laserprofilometer arbeitet nach dem Prinzip der dynamischen Fokussierung. Das Licht eines Halbleiterlasers wird durch eine bewegliche Linse auf die Probenoberfläche fokussiert, dort reflektiert und über einen Strahlteiler auf ein Photodiodenarray abgebildet. Hier wird das Einganssignal für den Regelkreis zur Steuerung der Linsenposition erzeugt. Bei maximalem Diodenstrom ist die Oberfläche im Fokus der Linse. Die Position der Linse korreliert mit dem Oberflächenprofil. Zusätzlich wird die Lichtreflexion von der Oberfläche gemessen.

UBM Microfocus Expert             Messkopf

 

Eigenschaften des Sensors

Wellenlänge:789 nm
Spot Size:1 µm
Messabstand:2 mm

 

Auflösung

 Grober MessbereichFeiner Messbereich
vertikal± 500 µm± 50 µm
Auflösung0.06 µm± 0.006 µm
Reproduzierbarkeit± 0.1 µm± 0.01 µm
Genauigkeit± 0.4 µm± 0.1 µm

 

Probentisch

x-Achse:200 mm max
y-Achse:200 mm max.
Schrittgröße:0.5 µm

 

Flächenscan einer CD-Oberfläche (Auflösungsgrenze)
Abbildung 1: Flächenscan einer CD-Oberfläche (Auflösungsgrenze)

Flächenscan einer Werkstückoberfläche - Pfennig
Abbildung 2: Flächenscan einer Werkstückoberfläche

Flächenscan einer drahtgesägten Silizium-Scheibe
Abbildung 3: Flächenscan einer drahtgesägten Silizium-Scheibe

Linienscan: Wellen, Rillen, Riefen, Rauigkeit
Abbildung 4: Linienscan: Wellen, Rillen, Riefen, Rauigkeit