Laser Scanning Profilometry
Gerätetyp: UBM Microfocus Expert
Das UBM-Laserprofilometer arbeitet nach dem Prinzip der dynamischen Fokussierung. Das Licht eines Halbleiterlasers wird durch eine bewegliche Linse auf die Probenoberfläche fokussiert, dort reflektiert und über einen Strahlteiler auf ein Photodiodenarray abgebildet. Hier wird das Einganssignal für den Regelkreis zur Steuerung der Linsenposition erzeugt. Bei maximalem Diodenstrom ist die Oberfläche im Fokus der Linse. Die Position der Linse korreliert mit dem Oberflächenprofil. Zusätzlich wird die Lichtreflexion von der Oberfläche gemessen.
Eigenschaften des Sensors
| Wellenlänge: | 789 nm |
| Spot Size: | 1 µm |
| Messabstand: | 2 mm |
Auflösung
| Grober Messbereich | Feiner Messbereich | |
| vertikal | ± 500 µm | ± 50 µm |
| Auflösung | 0.06 µm | ± 0.006 µm |
| Reproduzierbarkeit | ± 0.1 µm | ± 0.01 µm |
| Genauigkeit | ± 0.4 µm | ± 0.1 µm |
Probentisch
| x-Achse: | 200 mm max |
| y-Achse: | 200 mm max. |
| Schrittgröße: | 0.5 µm |
Abbildung 1: Flächenscan einer CD-Oberfläche (Auflösungsgrenze)
Abbildung 2: Flächenscan einer Werkstückoberfläche
Abbildung 3: Flächenscan einer drahtgesägten Silizium-Scheibe
Abbildung 4: Linienscan: Wellen, Rillen, Riefen, Rauigkeit