Focused Ion Beam

Zweistrahlsystem (Dual Beam System) FEI Helios NanoLab 600i

  • Rasterelektronenmikroskop (REM)
    • hochauflösende Bildgebung
    • thermische Schottky-Feldemissionsquelle
  • zusätzlich fokussierter Ionenstrahl (Focused Ion Beam - FIB)
    • Oberflächenmodifikation
    • Gallium-Quelle

Blick ins Labor:

FEI Helios NanoLab 600i im Überblick.
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Ausstattung

  • Detektoren:
    • Everhart-Thornley-Detektor
    • In-Lens-Detektor (Sekundärelektronen und Rückstreuelektronen)
    • ICE-Detektor (Ion Conversion and Electron)
    • Rückziehbarer DBS-Rückstreudetektor
    • EDX-Detektor für energiedispersive Röntgenanalyse (Firma EDAX)
    • EBIC-Verstärker (Electron Beam Induced Current)
    • IR-CCD-Kamera für Probenkammereinblick
  • Gasinjektionssystem (GIS) zur ortsaufgelösten Abscheidung von:
    • Platin
    • Kohlenstoff
    • Isolator (TEOS) mittels eines Gaseinlasssystems möglich
    • 2 weitere Ports zum Nachrüsten
  • Mikromanipulatoren:
    • gleichzeitige Benutzung von einem bis vier Mikromanipulatoren der Firma Kleindiek
    • gezieltes Abgreifen und Einspeisen von Strömen auf den Proben mit den 4 Mikromanipulatoren
    • mit Einsatz eines Mikromanipulators ist die Darstellung eines Strombildes möglich (Electron Beam Induced Current - EBIC)
  • integrierter Plasmacleaner zur Oberflächenreinigung der Proben

Anwendungsbeispiele:

Ni/NiSi-Schicht als Anode mit integriertem Stromkollektor.
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Weitere Informationen