Dr. Jamila Boudaden

Werdegang

  • Seit 11/2017      Externe Habilitandin am Institut für Elektronik und Sensormaterialien der TU Bergakademie Freiberg
  • Seit 05/2011      Wissenschaftlerin im Bereich Mikroelektronik, Fraunhofer EMFT (München), Einrichtung für Mikrosysteme und Festkörper-Technologien, Abteilung: Siliziumtechnologien, Device- und 3D-Integration
    • 2017-2018: Chemische Sensoren (Industrielles Projekt: Feuchte und CO2)
    • 2015-2017: Fona EcoFluor Projekt (BMBF Förderung)
    • 2014-2016: HLK Projekt (Bayern Förderung)
    • 2013-2016: Eigenforschung im Bereich chemische Sensoren
    • 2011-2012: MEMS-Mikrofone Projekt (Bayern Förderung)
    • 2011-2012: TUDOS Projekt (Mikropumpe)
  • 10/2009 – 04/2011          Kindererziehungszeit
  • 11/2007 – 09/2009          Applikationsingenieur, Thin Materials AG, München, Forschung und Entwicklung eines Verfahrens zum Verdünnen von gebondeten Siliziumwafern mit Halbleiterschaltungen
  •  06/2005 – 10/2007          Kindererziehungszeit
  •  10/2001 – 05/2005          PhD und wissenschaftliche Mitarbeiterin, Institut für Physik der Universität Basel (Schweiz), Herstellung und Untersuchung von gefärbten Abdeckgläsern für thermische Solarkollektoren durch Dünnschichtabscheidung
  •  03/1998 – 09/2001          Wissenschaftliche Mitarbeiterin, Photovoltaikgruppe des Halbleiterlabors PHASE, CNRS, Straßburg (Frankreich), Erforschung von multikristallinen und monokristallinen Silizium-Solarzellen

 Arbeitsgebiete und Kompetenzen

  • Charakterisierung von Sensitiven Materialien (Organik, Anorganisch und Hybrid) für Gase Sensoren
  • Entwicklung und Charakterisierung von Chemische Sensoren
  • CMOS Herstellungsverfahren
  • C-V Messungen und Impedanz-Spektroskopie
  • Optische Charakterisierungen von dünnen Schichten
  • Plasma Abscheidung und Ätzung von dünnen Schichten (LPCVD und APCVD)
  • Instandhaltung der Anlagen CVD
  • Forschungsmanagement (Vorbereitung von Projektanträgen, Anbahnung von Industrieforschung, Projektverwaltung u.a.)

 Ausgewählte Publikationen

  • J. Boudaden, M. Steinmaßl, H-E. Endres, A. Drost, H. Gieser, I. Eisele, C. Kutter, Polyimide Capacitive Humidity Sensor for Implementation in Various Applications, Smart System Integration 2018, 11-12 April, oral presentation
  • J. Boudaden, S. Altmannshofer, R. Wieland, M. Pittroff, I. Eisele, An approach to reduce greenhouse gases in the semiconductor industry using F2 for CVD chamber cleaning, Submitted to Environmental Engineering Science 2017
  • J. Boudaden, A. Klumpp, C. Hecker, I. Eisele, Y. Joseph, Functionalized nanoparticles for CO2 Sensors, Nanosmat Conference 2017 (Paris, France), 2017, 11-13 September, oral presentation
  • J.  Boudaden, A. Klumpp, H-E. Endres, I. Eisele, Capacitive CO2 Sensor, Eurosensors Conference 2017 (Paris, France), 2017, 3-6 September, oral presentation
  • S. Altmannshofer, J. Boudaden, R. Wieland, I. Eisele, C. Kutter,  Microwave plasma assisted process for cleaning and deposition in future semiconductor technology, Global Conference on Polymer and Composite Materials 2017, (Guangzhou, China) 2017,  May 23 – 25
  • Klumpp, H-E. Endres, I. Eisele, Capacitive CO2 Sensor, Eurosensors Conference 2017 (Paris, France), 2017, 3-6 September, oral presentation
  • J. Boudaden, An approach to reduce greenhouse gases in the semiconductor industry using F2 for CVD chamber cleaning (invited paper: Keynotes) , 1st International Materials Science and Engineering for Green Energy Conference (Ifrane, Morocco), 2017, 10-12 Mai, Invited Keynotes
  • J. Boudaden, SMART HVAC SENSORS FOR SMART ENERGY, Smart Systems Integration Conference (Cork, Irland), 2017, 8-9 March, oral presentation
  • S. Altmannshofer, B. Miller, A.W. Holleitner, J. Boudaden, I. Eisele, C. Kutter, Deposition of Micro Crystalline Silicon Films Using Microwave Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition, online 18 Oct., thin solid films 2017
  • J. Boudaden, A. Klumpp, I. Eisele, C. Kutter, Smart capacitive CO2 sensor, Proceedings IEEE sensors, 2016, P. 775-777
  • R. Wieland, M. Pittroff, J. Boudaden, S. Altmannshofer, C. Kutter, Environmental-Friendly Fluorine Mixture for CVD Cleaning Processes to Replace C2F6, CF4 and NF3, ECS Transactions, 2016, V. 72, Issue 19, P. 23-34
  • R. Wieland, J. Boudaden, D. Bonfert, P. Iskra, I. Eisele, G. Feiertag, Capacitive Silicon-Microphone and its mechanical and electro-acoustical Properties, Proceedings of Smart Systems Integration, Proceedings of Smart Systems Integration (Amsterdam, Netherlands), 2013
  • F. Wenninger, S. Kibler, J. Boudaden, K. Neumeier, R. Faul, A. Drost, D. Bonfert, U. Schaber, L. Meixner, K. Rose, H-E. Endres, I. Eisele, CO2 sensor system for mobile application, Proceedings of Smart Systems Integration (Amsterdam, Netherlands), 2013
  • J. Boudaden, P. Oelhafen, A. Schüler, C. Roecker, J.-L. Scartezzini, Multilayered Al2O3/SiO2 and TiO2/SiO2 coatings for glazed colored solar thermal collectors, Solar Energy Materials and Solar Cells, 2005, V. 89, I. 2–3, P. 209-218

 Patentanmeldungen

  • Sensor for Sensing Analytes Using Hybrid Organic-Inorganic Material, J. Boudaden, I. Eisele, eingereicht am 24 Mai 2016, PCT/EP2017/062650
  • CO2 Sensor and Method for Manufacturing Same, J. Boudaden, B. Gruber, eingereicht am 04 Februar 2016, EMFT-15 F57723 EP
  • A process for etching and chamber cleaning and a gas therefor, M. Pitroff, R. Wieland, J. Boudaden, Released on the 1st December 2016 as WO 2016/188718 A1
  • A process for etching and chamber cleaning and a gas therefor, M. Pitroff, R. Wieland, J. Boudaden, Released on the 19th November 2015 as WO 2015/173003 A1