Methoden

Das Methodenspektrum umfasst Kristallzüchtung und Waferverarbeitung, physikalische und chemische Methoden der Herstellung von dünnen Schichten wie Elektronenstrahlverdampfung, Magnetronsputtern, Atomic Layer Deposition sowie die Herstellung von speziellen Bauelementen wie Schalter, Speicher, Sensoren oder Solarzellen und deren Strukturierung mit Hilfe von lithographischen Methoden und Ätzverfahren.

Einen Überblick der im Zentralen Reinraumlabor angebotenen Methoden finden Sie hier.


ElektronenstrahlverdampferSputteranlageEllipsometer