Projekte

Einen Überblick zu Projekten, die im Zentralen Reinraumlabor bearbeitet wurden und an denen derzeit geforscht wird, erhalten Sie im Jahresbericht 2013.

Schwerpunkte der Forschungsarbeiten, die von den beteiligten Instituten bearbeitet werden, sind

Hoch Epsilon Dielektrika: elektronische Eigenschaften von Grenzflächen (Institut für Angewandte Physik)

Strukturphysikalische Konzepte der Datenspeicherung (Institut für Experimentelle Physik)

Sensoren - neue Konzepte und Funktionalitäten (Institut für Elektronik und Sensormaterialien)

Folgend eine Auswahl an Einzelprojekten:

- Magnetronsputtern von ITO-Schichten für transparente Elektroden
- Prozessierung von Transducerstrukturen für Metall-organische Sensoren und molekulare Schalter
- Gezielte Strukturbeeinflussung resistiv schaltender Schichten zur Anwendung in
nichtflüchtigen Speicherzellen
- Elektronenstrahlverdampfung und Magnetronsputtern von SrTiO3 für resistiv schaltende MIM Kondensatoren
- Stabilität von Übergangsmetalloxiden in elektrischen Feldern – Bildung einer neuen migrationsinduzierten feldstabilisierten Phase in SrTiO3
- Größenkontrollierte Herstellung und Charakterisierung von Silicium-Nanokristallen eingebettet in einer SiO2-Matrix durch Magnetronsputtern von SiOx/SiO2-Übergittern
- Herstellung und Charakterisierung von ALD Al2O3- und Si-dotierten Al2O3-Schichten zur Passivierung von kristallinen Siliziumsolarzellen
- Solarzellen Prozessierung mittels Plasma-Immersions Ionen-Implantation und Blitzlampen-Temperung
- Herstellung und Charakterisierung von Halbleiter-nanokristallen in Hoch-Epsilon-Materialien als alternative nichtflüchtige Speicher
- Einbettung metallischer Nanocluster in Sol-Gel ZrO2-Schichten
- Atomlagenabscheidung von TiO2 und SrTiO3 für resistiv schaltende MIM Kondensatoren
- Herstellung und Untersuchung von ohmschen Kontakten für AlGaN/GaN-Hetero-Feldeffekttransistoren (HFET)
- Herstellung und Charakterisierung von Halbleiternanokristallen und Metallnanoclustern in Hoch-Epsilon-Materialien als alternative nichtflüchtige Speicher
- Herstellung dünner Schichten und Untersuchung auf pyroelektrische Eigenschaften