Antrag

zwei Mitarbeiter bei nasschemischem ProzessDas Zentrale Reinraumlabor (ZRL) der TU Bergakademie Freiberg ist eine wissenschaftliche Einrichtung für Lehre, Forschung und Weiterbildung auf dem Gebiet der Halbleitertechnologie und -materialentwicklung.
Das ZRL stellt die wesentlichen Prozess- und Analyseschritte für die Erzeugung und Strukturierung von Halbleiterfunktionsmaterialien bereit. Der wissenschaftliche Schwerpunkt liegt dabei auf der Integration neuer Materialien, weshalb unterschiedliche Methoden der Schichtabscheidung im Reinraumlabor zur Verfügung stehen. Das ZRL ist durchgängig für 150 mm Wafer ausgelegt, wobei aber auch kleinere Substrate oder Bruchstücke prozessierbar sind.

Das Reinraumlabor steht prinzipiell allen Interessenten, an erster Stelle aber den Instituten der TU Bergakademie Freiberg zur Durchführung von Lehr- und Forschungsvorhaben offen.
Der Vorstand des ZRL, der von Professoren der Hauptnutzer des ZRL gebildet wird, bestimmt auf Grundlage eines Antrages des Interessenten über die Realisierung und die Modalitäten.
Wird der Antrag positiv beschieden, so werden die Vorhaben in detaillierte Prozess- und Kontrollschritte untersetzt, die von den einzelnen Anlagenverantwortlichen auf ihre Machbarkeit geprüft und schließlich umgesetzt werden.

Die Antragsformulare liegen in Form von Microsoft-Word-Vorlagen (.dot) sowie als PDF-Dateien vor.
Es ist möglich, die auf Basis dieser Vorlagen erstellen Dokumente mit dem selbst eingetragenen Inhalt auf dem eigenen PC zu speichern.

Der Antrag besteht aus dem Hauptdokument und drei Anlagen. Für umfangreichere Anträge können dem Hauptdokument mehrere Anlagen eines Sachverhalts beigefügt werden, z.B. für unterschiedliche Wafer-Chargen.
Auf jeden Fall ist der Antrag vollständig ausgefüllt mit allen drei Anlagen und eventuell zusätzlich notwendigen Zusatzdokumenten (z. B. Sicherheitsdatenblätter) einzureichen.

Der Antrag kann entweder per Post oder per E-Mail eingereicht werden an:

Zentrales Reinraumlabor der TU Bergakademie Freiberg
zu Händen Dr. Barbara Abendroth
Leipziger Straße 23
09596 Freiberg
E-Mail: barbara [dot] abendrothatphysik [dot] tu-freiberg [dot] de